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石英管式微波等離子體裝FM-CVD

的詳細介紹

（一）主要配置：

1、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級型）連續可調，陽*壓、陽極電流足額顯示；

2、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級型）石英管真空室，有一個觀察窗和一個診斷窗；

3、石英管采用制冷循環水冷卻，保證裝置安全運行。

4、配有真空測量及控制閥門系統；3路工作氣體流量控制；

（二）典型實驗：

1、等離子體化學氣相沉積。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。

反應氣體A、B被激發為等離子狀態，其活性基團發生反應生成所需要的固態物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。

2、等離子體表面刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應氣體A被激發為等離子體狀態與固體B表面原子發生反應生成氣態物C，可用于集成電路的刻蝕實驗。

3、等離子體催化反應。等離子體中具有豐富的活性成分，如紫外和可見光子、電子、離子、自由基，高反應性的中性成分如活性原子、受激原子態，從而可以引發在常規化學中不能或很難實現的化學反應。

4、等離子體表面改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應氣體A被激發為等離子體狀態，與固體B表面發生反應，生成新的化合物，從而達到改變B物質表面性質的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物醫用材料的表面改性。

（三）產品特色：

1、  微波系統設計嚴謹，加工精良，運行時微波準零泄漏，確保使用者人身安全；

2、  微波功率充足，等離子效應強勁，作用效果良好；陽極電壓電流足額顯示。

3、  樣品臺升降架精巧豪華，方便調諧和樣品取放；

4、  樣品臺可加熱或冷卻，有利于控制反應過程。

5、制冷循環水系統踐行環保理念，避免用長流水費水擾民。

6、循環水機可聯機使用、可獨立使用，提高了投資效益；

7、缺水時啟動高壓或正常工作時斷水，系統會斷電并報警；

8、真空泵排氣口接有油霧過濾器，保護環境；

9、電控系統功能完善、操作靈便、指示醒目；

10、整機造型典雅大氣。

（四）輔助設備與耗材（主要由客戶另購）：

超聲清洗機、1000×金相顯微鏡；硅片、金剛石微粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板、石英管 / 板等。

石英管式微波等離子體裝FM-CVD

（五）特殊配置（客戶提出要求,本廠設計制作,費用雙方協商）：

1、異型基片臺（樣品臺）

2、上置疹斷探針（帶透明觀察窗）

3、可加熱可測溫的基片臺——可水冷可

出接線端子的基片臺支柱——寬行程

精巧豪華升降架——下法蘭（總成）

4、基片臺加熱及溫度測控儀

5、可水冷的基片臺（帶升降架總成）

6、光學鏡頭（用于聯接光譜儀、光度計等）

7、客戶提出需求的其它配置